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プラズマプロセシングの基礎
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商品詳細
| 内容紹介 | |
|---|---|
| 販売会社／発売会社 | 電気書院 |
| 発売年月日 | 1985/11/01 |
| JAN | 9784485661185 |
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プラズマプロセシングの基礎
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商品レビュー
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1件のお客様レビュー
さすがに古いだけあって、不確かな記述や、現在の半導体プロセスに応用するには少々物足りない。しかし、黎明期の研究内容なので、むしろ今では常識的になっている内容の部分の解説（シースの形成など）が、どういう条件を仮定して成り立っているのかなど、細かなところまで注意深く解説されていて参考...
さすがに古いだけあって、不確かな記述や、現在の半導体プロセスに応用するには少々物足りない。しかし、黎明期の研究内容なので、むしろ今では常識的になっている内容の部分の解説（シースの形成など）が、どういう条件を仮定して成り立っているのかなど、細かなところまで注意深く解説されていて参考になると思った。
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