プラズマプロセシングの基礎

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2013/11/16

さすがに古いだけあって、不確かな記述や、現在の半導体プロセスに応用するには少々物足りない。しかし、黎明期の研究内容なので、むしろ今では常識的になっている内容の部分の解説（シースの形成など）が、どういう条件を仮定して成り立っているのかなど、細かなところまで注意深く解説されていて参考...

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さすがに古いだけあって、不確かな記述や、現在の半導体プロセスに応用するには少々物足りない。しかし、黎明期の研究内容なので、むしろ今では常識的になっている内容の部分の解説（シースの形成など）が、どういう条件を仮定して成り立っているのかなど、細かなところまで注意深く解説されていて参考になると思った。

Posted by ブクログ

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