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半導体製造装置用語辞典
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商品詳細
| 内容紹介 | |
|---|---|
| 販売会社／発売会社 | 日刊工業新聞社 |
| 発売年月日 | 1987/11/20 |
| JAN | 9784526022753 |
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半導体製造装置用語辞典
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半導体を作る気はないけど、使うので、設計工程・マスク作成工程・ウェーハ製造工程・ウェーハ処理工程・組立工程・検査工程・設備環境工程と工程に沿って用語が解説されてて興味深い。
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