半導体製造装置用語辞典 の商品レビュー

日本半導体製造装置協会【編】

2009/10/04

半導体を作る気はないけど、使うので、設計工程・マスク作成工程・ウェーハ製造工程・ウェーハ処理工程・組立工程・検査工程・設備環境工程と工程に沿って用語が解説されてて興味深い。