超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

江刺正喜(著者), 宮口裕(著者), 小島明(著者), 池上尚克(著者), 越田信義(著者)

• 販売会社／発売会社: 東北大学出版会
• 発売年月日: 2018/06/01
• JAN: 9784861632969