図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 第2版 製造装置の全体を俯瞰する How-nual visual guide book

佐藤淳一(著者)

• 販売会社／発売会社: 秀和システム
• 発売年月日: 2016/08/01
• JAN: 9784798047263

商品レビュー

2022/09/03

半導体製造装置、主に前工程について解説した本です。
半導体プロセスに関係する仕事をしている人が、とりあえず一通り単語の意味を知るために読む本としてお勧め。
あまりこの分野に関わらない人が手に取っても、中身が頭に入って来ないと思います。