図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 第2版 の商品レビュー

佐藤淳一(著者)

2022/09/03

半導体製造装置、主に前工程について解説した本です。
半導体プロセスに関係する仕事をしている人が、とりあえず一通り単語の意味を知るために読む本としてお勧め。
あまりこの分野に関わらない人が手に取っても、中身が頭に入って来ないと思います。