半導体材料・デバイスの評価 パラメータ測定と解析評価の実際

ディーター・K.シュロゥダー【著】, 嶋田恭博【訳】

• 販売会社／発売会社: シーエムシー出版
• 発売年月日: 2012/05/01
• JAN: 9784781304793

商品レビュー

2014/08/27

半導体評価手法の解説本としては、見たことのある書籍の中で最も網羅的で使いやすい。実用一辺倒の構成で、測定したいパラメータのタイプ別に章立てされている。デメリットとしては、ひとつの手法が複数章に生き別れで記載されるようになってしまったことだが、やむをえないだろう。理論は、紹介されている技術の解説に必要な分だけ適宜導入される構成のため、半導体物理の基礎について事前に組織だった知識があったほうがいい。21世紀初頭時点での現状を俯瞰するのにはこの本以外考えられない名書。