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半導体SiC技術と応用
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商品詳細
| 内容紹介 | |
|---|---|
| 販売会社／発売会社 | 日刊工業新聞社/ |
| 発売年月日 | 2003/03/27 |
| JAN | 9784526050961 |
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半導体SiC技術と応用
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半導体材料としてのシリコンカーバイドの物性、プロセス、デバイスなど。 2003年時点の本で、いまや状況は大いに変わってます。 2011年版も出たようなので、そちらに期待。
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