はじめての半導体ドライエッチング技術 の商品レビュー

野尻一男【著】

2020/01/21

半導体ドライエッチング思い出し作業のために購入
加工するプロセスにおけるキープロセスなので、基本事項は抑えておくという目的では非常に有用
基本プロセスと原理が書いてある良書
初心者には良いと思う