はじめての半導体リソグラフィ技術 の商品レビュー

岡崎信次,鈴木章義,上野巧【著】

2020/01/21

半導体ドリソグラフィー思い出し作業のために購入
エッチングプロセス同様に、加工するプロセスにおけるキープロセスなので、基本事項は抑えておくという目的では非常に有用
線幅がムーアの法則に従って細線化しているが、この本のものよりおそらく現状は更に狭いため、原理を抑えるだけのものになってしまうが良書
初心者には良いと思う

2016/07/19

最近、レジスト関係の仕事が増えてきたので基礎的なことを思い出すために購入。
EUV関連の記述なんかは、最近の状況を簡潔にしかも的確に記載されていて大変勉強になっています。