はじめてのMEMS の商品レビュー

江刺正喜【著】

2011/09/20

ＭＥＭＳ開発のパイオニアである東北大学の江刺教授によるＭＥＭＳ入門書。
ＭＥＭＳの歴史から始まり、製作工程、センサやアクチュエータなどのＭＥＭＳ要素、現在なされている応用、さらにビジネス展開までを懇切丁寧に説明している。
はじめに　の部分に書かれているように、これ一冊でＭＥＭＳに関する知識を系統的に得ることができるだろう。